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首頁(yè)>自主產(chǎn)品>三軸加速度傳感器

模擬PA-LASIII-01A

用于測(cè)量三軸振動(dòng)加速度的傳感器，三軸中的每一軸加速度傳感器均采用高精度 MEMS 芯片，具有高性能、低價(jià)位、高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具備溫度傳感器輸出、自檢測(cè)（Self-Test）功能，可實(shí)現(xiàn)溫補(bǔ)和 BIT（Built-In-Test）?？捎糜谄?chē)測(cè)控、慣性導(dǎo)航、地震監(jiān)控、醫(yī)療器械、傾斜、速度和位置的測(cè)量、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)

商品詳情
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用案例
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一、簡(jiǎn)介

PA-LASIII-01A系列三軸固態(tài)加速度傳感器由西安精準(zhǔn)測(cè)控公司

自行研制，用于測(cè)量三軸振動(dòng)加速度的傳感器，三軸中的每一軸加速

度傳感器均采用高精度 MEMS 芯片，具有高性能、低價(jià)位、高可靠性

和高封裝堅(jiān)固性，并具備溫度傳感器輸出、自檢測(cè)（Self-Test）功

能，可實(shí)現(xiàn)溫補(bǔ)和 BIT（Built-In-Test）?？捎糜谄?chē)測(cè)控、慣性導(dǎo)

航、地震監(jiān)控、醫(yī)療器械、傾斜、速度和位置的測(cè)量、振動(dòng)和沖擊試

驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)。

二、原理

PA-LASIII-01A 加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS

多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速

度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的

中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來(lái)測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏

轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)
可用于汽車(chē)測(cè)控、

慣性導(dǎo)航、地震監(jiān)控

、醫(yī)療器械、傾斜、

速度和位置的測(cè)量、振動(dòng)和沖擊試

驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)。
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